Tétrafluorure de silicium

Le tétrafluorure de silicium, également appelé tétrafluorosilane, est un composé du silicium à géométrie tétraédrique et de formule SiF₄, il s'agit donc d'un halogénure de silicium (à l'instar du tétrachlorure de silicium de formule SiCl₄).

Tétrafluorure de silicium
Structure du tétrafluorure de silicium
Identification
Synonymes	tétrafluorosilane
No CAS	7783-61-1
No ECHA	100.029.104
No CE	232-015-5
PubChem	24556
SMILES	[Si](F)(F)(F)F PubChem, vue 3D
InChI	InChI : vue 3D InChI=1/F4Si/c1-5(2,3)4
Apparence	gaz incolore, d'odeur acre.
Propriétés chimiques
Formule	F4SiSiF4
Masse molaire	104,079 1 ± 0,000 3 g/mol F 73,02 %, Si 26,98 %,
Propriétés physiques
T° fusion	−90 °C
T° ébullition	−86 °C
Solubilité	dans l'eau : réaction
Masse volumique	1,66 g·mL-1 (−95 °C, solide) 4,69 g·L-1 (0 °C, gaz)
Point critique	37,2 bar, −14,15 °C
Propriétés électroniques
1re énergie d'ionisation	15,24 ± 0,14 eV (gaz)
Cristallographie
Symbole de Pearson	$cI10\,$
Classe cristalline ou groupe d’espace	I43m (n°217)
Précautions
SGH
Danger H280, H314, H330, EUH071, P260, P280, P303, P304, P305, P315, P338, P340, P351, P353, P361, P403 et P405 H280 : Contient un gaz sous pression ; peut exploser sous l'effet de la chaleur H314 : Provoque de graves brûlures de la peau et des lésions oculaires H330 : Mortel par inhalation EUH071 : Corrosif pour les voies respiratoires P260 : Ne pas respirer les poussières/fumées/gaz/brouillards/vapeurs/aérosols. P280 : Porter des gants de protection/des vêtements de protection/un équipement de protection des yeux/du visage. P303 : En cas de contact avec la peau (ou les cheveux) : P304 : En cas d'inhalation : P305 : En cas de contact avec les yeux : P315 : Consulter immédiatement un médecin. P338 : Enlever les lentilles de contact si la victime en porte et si elles peuvent être facilement enlevées. Continuer à rincer. P340 : Transporter la victime à l'extérieur et la maintenir au repos dans une position où elle peut confortablement respirer. P351 : Rincer avec précaution à l’eau pendant plusieurs minutes. P353 : Rincer la peau à l’eau/se doucher. P361 : Enlever immédiatement les vêtements contaminés. P403 : Stocker dans un endroit bien ventilé. P405 : Garder sous clef.
SIMDUT
A, D1A, E, A : Gaz comprimé température critique = −14,2 °C D1A : Matière très toxique ayant des effets immédiats graves Transport des marchandises dangereuses : classe 2.3 E : Matière corrosive Transport des marchandises dangereuses : classe 8 Divulgation à 1,0% selon la liste de divulgation des ingrédients
NFPA 704
0 3 2 W
Transport
-    1859    Numéro ONU : 1859 : TÉTRAFLUORURE DE SILICIUM COMPRIMÉ
Unités du SI et CNTP, sauf indication contraire.

À température et pression ambiantes, ce composé se présente sous forme d'un gaz incolore. Sa plage d'existence à l'état liquide est singulièrement étroite : entre −90 °C et −86 °C.

Ce composé inorganique a été synthétisé pour la première fois en 1812 par le chimiste anglais John Davy, frère du célèbre physicien et chimiste Sir Humphry Davy.

Production

Le traitement thermique de l’hexafluorosilicate de baryum (BaSiF₆) à des températures supérieures à 300 °C permet de synthétiser le tétrafluorure de silicium à l'état gazeux ainsi que du fluorure de baryum (BaF₂) en tant que résidu solide.

Utilisation

En microélectronique, le tétrafluorure de silicium est utilisé :

• dans le cadre de l'implantation ionique ;
• en tant qu'agent de nettoyage ;
• et, en conjonction avec le silane (SiH₄), pour le dépôt de silice fluorée par PECVD.